Simco-Ion反饋控制的調(diào)制脈沖 AeroBar-型號(hào)5645

采用 Simco-Ion 調(diào)制脈沖 (MP) 技術(shù)的*新離子棒現(xiàn)在可通過(guò) Novx 監(jiān)測(cè)和反饋系統(tǒng)提供主動(dòng)反饋和控制。型號(hào) 5645 AeroBar 提供行業(yè)**的平衡電離性能，設(shè)計(jì)用于半導(dǎo)體制程應(yīng)用、特別是包括*新 3D 技術(shù)的先進(jìn)封裝應(yīng)用，符合快速消散靜電、和**而低擺幅的平衡電壓的要求。**的調(diào)制脈沖技術(shù)，讓 AeroBar離子棒 可放置在近至距晶圓 150 mm 的位置，近距離控制對(duì)微細(xì)的技術(shù).節(jié)點(diǎn)至關(guān)重要。精細(xì)調(diào)整結(jié)合超潔凈的 SCSi 靜電針，5645 MP 棒的潔凈度能超越 ISO 14644-1 Class 1，符合適用小于 10 nm 微粒的延伸 ISO Class 1 水平*。

型號(hào) 5645 離子棒與 Novx 監(jiān)測(cè)和反饋系統(tǒng)連接安裝，可以維持 ±5V 以?xún)?nèi)的**平衡電壓。離子棒能容易設(shè)置和微調(diào)參數(shù) - 輸出電壓，脈沖頻率，正負(fù)平衡，以符合不同環(huán)境和產(chǎn)品對(duì)靜電的敏感要求。處于層流風(fēng)較弱的制程，可選吹氣輔助功能以能加快離子的推送，得到更快的消散時(shí)間和有更遠(yuǎn)的工作距離。型號(hào) 5645 AeroBar 有 14 種長(zhǎng)度 從 350 mm 至 2,350 mm 可選。

特點(diǎn)

? ±5V 配置 Novx 監(jiān)測(cè)和反饋系統(tǒng)

? 采用 SCSi 靜電針兼容 ISO 14644-1 Class 1 和延伸 ISO Class 1；采用 Ti 靜電針兼容 ISO 14644-1 Class 3

? 使用廣泛調(diào)整的軟件集中管理電源和控制

? 傳感器輸入、FMS 接口、警報(bào)、電源和通信等功能設(shè)置在離子棒的同一端

優(yōu)點(diǎn)

? 提供主動(dòng)反饋/控制，對(duì)靜電防護(hù)實(shí)現(xiàn)**穩(wěn)定的平衡電壓

? 兼容所有元件的技術(shù)節(jié)點(diǎn)

? 無(wú)需在安裝位置手動(dòng)調(diào)整

? 設(shè)計(jì)整體易用和長(zhǎng)維護(hù)周期

±5V 平衡電壓效能

為實(shí)現(xiàn) ±5V 平衡電壓效能，型號(hào) 5645 可配備 Novx 系統(tǒng)或 Novx Inside。這兩種配置方案都使用 Novx 檢測(cè)并自動(dòng)較正平衡電壓。當(dāng)傳感器放置在目標(biāo)區(qū)域時(shí)，反饋傳送至 型號(hào) 5645 AeroBar 的內(nèi)部控制系統(tǒng)，以確保目標(biāo)始終保持 ±5V 以?xún)?nèi)的平衡電壓。

設(shè)計(jì)特點(diǎn)

簡(jiǎn)潔的界面：100% 遠(yuǎn)程控制，通過(guò)軟件的集中控制功能輕松進(jìn)行調(diào)整。

靈活方便：選用壓接式耦合連接的 CDA 接頭，可以連接快速斷開(kāi)、掛鉤、轉(zhuǎn)彎等通用接管配件，便于使用。

更好的線纜管理：電源/通信、24 VDC 接口和 Novx 接口功能設(shè)置在同一棒端，能更好地規(guī)劃和管控線纜。

空氣輔助選項(xiàng)：對(duì)于層流風(fēng)比較弱的環(huán)境，采用空氣輔助可以幫助加快離子輸送，在更長(zhǎng)距離內(nèi)提供更快的消散時(shí)間和性能。
使用 MP 控制軟件簡(jiǎn)易安裝

只需插入 24 VDC 電源即可快速安裝型號(hào) 5645 AeroBar。MP控制軟件可管控單棒或多棒（*多 8 根）。用戶可以透過(guò)簡(jiǎn)單易用的 MP 控制軟件微調(diào)離子棒的控制參數(shù)，以?xún)?yōu)化所需的平衡電壓、電壓擺幅和消散時(shí)間，滿足操作要求。信號(hào)和電源的接線盒上的警報(bào)連接能輸出作 FMS 監(jiān)控。