FESTO費斯托在半導體行業中的應用

FESTO費斯托是一家傳承三代的家族企業，經濟獨立且具有社會責任感

立足傳統，著眼**

求知欲、勇氣和適應力并非費斯托的新理念， 而是始終流淌在我們的血液里。我們想要打造**地位，以便時刻準備好應對不斷變化的市場需求。

應用：控制和調節冷卻回路

在半導體制造過程中可靠地調節冷卻液

Festo 的解決方案：

閥島 VTUG 和 VTOC (1)用于可靠地控制介質的氣控閥

CPX-MPA 型閥島如果需要額外的 I/O，例如用來控制電控閥、集成傳感器或創建閉環控制回路。此閥島還可用于執行診斷和遠程維護功能。

氣控或電控 閥 VZXA、VZQA 和 VZWF (3)控制介質流量。即使在閉環控制回路中，也能可靠、準確地調節非常冷和/或熱的介質。

角行程驅動器 DFPD (4)驅動 球閥 VZBF (5)以及通常用于冷卻或溫度控制介質的主管線和進/出管線的大流量翻板閥。

SFAW (2) 和 SPAW (6)型傳感器非常準確地測量介質流量以及溫度和壓力。

1.完全裝配并經過測試的即可安裝系統解決方案

2.一站式提供您用于調節冷卻過程所需的所有元件

3.標準版本的介質閥堅固可靠，或根據安裝空間、溫度和介質定制的解決方案
冷卻應用中的介質分配元件：

閥島VTUG,帶有多針或現場總線接口

緊湊、通用、大流量。優化的閥島型號，安裝在控制柜中，帶有氣路板，可提高防腐蝕性能。還具有熱插拔功能，可在不中斷正在進行的過程的情況下更換閥。
擺動驅動器 DFPD

DFPD 系列采用齒輪齒條組合，在整個擺動范圍內具有恒定的扭矩特性。擺動驅動器 DFPD 非常適合蝶閥、球閥和風門的自動化。
 球閥VZBF

盱液體和氣體介質的雙組分不銹鋼球閥易于維護。其防火設計符合API 607的要求。
冷卻應用中的介質分配閥：

夾管閥VZQA

常閉或常開?將由您選擇。使用夾管閥VZQA,您可以更好地控制介質流，如顆粒、含固體物的流體和高粘度或研磨介質。緊湊型閥安裝快速，易于清潔并提供模塊化配置。

角座閥VZXA

極高的流量、易于清洗和模塊化結構。您可以將閥體和驅動器組合在一起，以適應您的應用，并使其更加靈活。

電磁閥VZWF

強制先導式氣控閥VZWF使用相對較小的電磁線圈控制大公稱通徑內的高壓，即使在沒有壓差的封閉質回路中也適用。
半導體行業產品

Festo 為制造電子元件的機器提供了廣泛的產品組合：具有集成**功能的閥島 VTOC 或我們的比例壓力閥 VEAA/VEAB（用于對通常控制或調節工藝氣體的介質閥進行先導控制）。