SIMCO-ION思美高設備優點:靜電吸附是用于臨時吸附材料的一種特殊工藝,ECM系列靜電吸附系統可以根據客戶需要提供高達60KV靜電電壓用于各種場合。ECM靜電吸附系統采用高頻開關技術提供三大優勢。首先,能夠根據所設定的電壓實現穩定的電壓輸出;其次,輸入電壓的波動將不會影響輸出電壓波動;*后,周邊環境的變化,負載的變化,特別是在*大臨界負載變化將不會影響輸出電壓的穩定性。ECM靜電吸附系統采用防電弧技術,很重要的優點可以保證人身和設備使用**,并提高設備的穩定性,延長使用壽命。對于靜電吸附系統,靜電產生電極通常被連接到高達幾萬伏的電壓,靜電產生電極周圍會發生電暈現象,空氣被電離,在電場的作用下,電荷移動至目標物體上。此時目標物體所帶有電荷的極性依賴于所產生高壓相對于地極的極性。
■ 與外部傳感器(NOVX 3150/3350/3360/7000等
5822i 型負離子發生器鼓風機系統是一款高精度/高速靜電中和鼓風機,適用于嚴格的靜電控制過程,具有 +/-1V 離子平衡和外部傳感器。 緊湊的機身非常適合集成到硬盤制造工藝和半導體制造工藝中的設備中。
長處
)組合實現
高精度+/-1 V離子平衡(+/-3 V,無需外部傳感器)
■ 獨特的自動離子平衡控制延長
了維護周期 ■高清潔度 ■
5802i、5810i 和 5822i 型離子發生器鼓風機專為
潔凈室應用而設計。
符合 ISO 4 級(Fed Std 209E 10 級)的高度清潔設計
■ 兩級風扇速度切換
■ 離子平衡可調
■ 配備風扇停止報警
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