如果您對該產(chǎn)品感興趣的話,可以
產(chǎn)品名稱:
優(yōu)勢代理AMAYA天谷制作所 晶圓設(shè)備
產(chǎn)品型號:
AMAX1000S
產(chǎn)品展商:
日本AMAYA天谷制作所
折扣價格:
0.00 元
關(guān)注指數(shù):206
產(chǎn)品文檔:
無相關(guān)文檔
AMAYA株式會社天谷制作所AMAX1000S
常壓CVD裝置，準備了滿足顧客需求的產(chǎn)品陣容。同時，定做也對應(yīng)。
對應(yīng)于半導(dǎo)體制造用、太陽能電池制造用等各種用途。從少量生產(chǎn)到大量生產(chǎn)
形成SiO2、BPSG、BSG、PSG等各種膜種
采用SiC托盤防止重金屬污染，從低溫（200℃）到中溫（500℃）區(qū)域可以廣泛成膜
優(yōu)勢代理AMAYA天谷制作所 晶圓設(shè)備
的詳細介紹
日本AMAYA株式會社天谷制作所
連續(xù)常壓CVD設(shè)備，用于批量生產(chǎn)兼容125mm方形和156mm方形的太陽能電池
AMAX1000S
-
156 毫米方形 1500 張/小時吞吐量
-
采用SiC托盤防止重金屬污染的對策，以及通過改善托盤支架防止背面環(huán)繞的措施
特征
-
可以使用滿足太陽能電池生產(chǎn)需求的超批量生產(chǎn)設(shè)備運輸156mm x 156mm方形基板和125mm x 125mm方形基板。
-
我們開發(fā)了可實現(xiàn)批量生產(chǎn)的專用分散頭，以及實現(xiàn)超高速輸送的雙臂輸送機構(gòu)。 此外，還增加了燈管加熱機構(gòu)，以實現(xiàn)超高速和晶圓溫度均勻性。
-
我們開發(fā)了一種特殊的晶圓支架，用于高效加熱太陽能電池的薄晶圓。
-
卸料器部分使用多級Bernui卡盤來分離晶圓和托盤，并且還具有冷卻功能。
性能
|
均勻的薄膜厚度
|
≦±10.0%
|
|
支持的晶圓尺寸
|
156毫米方形，125毫米方形
|
|
氣體種類
|
SiH4，O 2， PH3， B 2 H6， N 2
|
|
薄膜沉積溫度
|
~430°C
|
|
生產(chǎn)力
|
1500張/小時
|
主要規(guī)格
|
設(shè)備尺寸
|
1860毫米（寬） x 5900毫米（深） x 2100毫米（高）
|
|
加熱機構(gòu)
|
電阻加熱和燈加熱
|
|
裝載卸載
|
裝載：卡盤，卸載：伯努利卡盤
|
|
分散頭（氣體噴嘴）
|
A63 長頭（標準 3 頭）
|
